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惠州市鉑冠真空應用材料有限公司

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濺射中國“芯”

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濺射中國“芯”

【摘要】:
在靶材制造的過程中,需要經歷粉末冶煉、粉末混合、壓制成型、氣氛燒結、塑性加工、熱處理、超聲探傷、機械加工、水切割、機械加工、金屬化、綁定、超聲測試、超聲清洗、檢驗出貨,共計15道工序。? 

  在靶材制造的過程中,需要經歷粉末冶煉、粉末混合、壓制成型、氣氛燒結、塑性加工、熱處理、超聲探傷、機械加工、水切割、機械加工、金屬化、綁定、超聲測試、超聲清洗、檢驗出貨,共計15道工序。

 

  粉末冶煉:對原料粉末進行前期的氣氛燒結,對原料粉末中氣體含量進行控制。

 

  粉末混合:靶材有著獨特的配方,需精確的控制各組分的含量,并嚴格限制雜質含量,在粉末冶金的過程中,需要將各元素充分混合均勻,粒度分布均勻,防止污染

 

  并要通過特殊工藝手段制備成混合型復粉。

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